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OAI紫外线照度计
产品概述: OAI 308型紫外线照度计是一种可靠且可重复测量的仪器,可用于光刻机紫外线光源的强度测量,测量结果精确可靠。销售联系方式:李安芃 18918393270。
OAI紫外线照度计308型:

OAI 308型紫外线照度计是一种可靠且可重复测量的仪器,可用于光刻机紫外线光源的强度测量,测量结果精确可靠。308型紫外线照度计是一个手持式设备,配备可拆卸探头,用于UVA、UVB和UVC范围的测量。并有高速数据记录的速度串行端口作为可选项提供。

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相对精度-308型

0-275 mw/cm2范围±(.089%读数+0.0545 mw/cm2)*

275-2000 mw/cm2范围±(.042%读数+.450 mw/cm2)*

相对精度-308T型高强度

0-1030 mw/cm2范围±(.089读数+.20427 mw/cm2)

1031-7500 mw/cm2范围±(.042读数+1.6875 mw/cm2)

线性-308型

0-275 mw/cm2范围±(.002%读数+0.0297 mw/cm2)

275-2000 mw/cm2范围±.300 mw/cm2

线性-308T型高强度

0-1030 mw/cm2范围±(.002读数+0.11142 mw cm2)

1031-7500 mw/cm2范围±(1.125 mw/cm2)

308型显示范围型号: 0.1-1999

308T型显示范围型号: 0.1-7500

电源:9V电池

尺寸:4.4英寸宽x 7.7英寸高x 1.25英寸深

重量:10盎司(约)

仪表+探头精度:±3%

308型可拆卸2w/cm2探头

相对准确度:OAI标准的±2.5%*

传感器材料:硅(紫外线增强)

滤波器:多层或介质滤波器吸收玻璃

尺寸:1.75“直径x 0.63”厚

重量:3盎司(约)

电缆长度:4英尺

*NIST可追踪

OAI紫外线照度计659型:

659型是一款先进的紫外线曝光分析仪,专门设计用于所有步进式光刻机,包括高强度步进式光刻机。该仪表平均可达到400个曝光读数,具有以太网和USB接口,用于下载记录测量的数据,并且强度范围可高达7500MW/cm2。探头的波长为365nm、400nm、420nm和436nm。

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1.仪表规格

用户界面:触摸屏

计算机接口:可选以太网和USB下载记录测量的数据

电源:电池采用可充电的3.7V锂离子电池并有充电保护

充电器电源:100-240 VAC

显示设置:2个屏幕

1设置屏幕-以太网地址、日期和时间

2运行屏幕–波长、强度、时间、剂量、探头温度,探头类型,偏差百分比,串行编号、校准到期日、电池状态、探针序列号和充电器状态。

内存存储:多400个读数

强度范围:高达7500MW/cm2

强度分辨率:0.01mW/cm2

剂量范围:高达1000 J/cm3

剂量分辨率:0.01mJ/cm3

时间范围:长9999秒

时间分辨率:0.0001秒

小剂量暴露25m秒

尺寸:14英寸X 8.25英寸X 3.5英寸

重量:3.5磅

工作环境温度:15–40度

符合性:ROHS2和CE(EMC和安全)

2.探头规格

选项:非补偿温度探头

探头检测器:硅光电二极管

可用波长(nm)365、400、420、436

过滤器:多层吸收/介质

强度范围:7500MW/cm2

合规性:ROHS2和CE(EMC和安全)

OAI紫外线照度计及探头校准:

提供OAI紫外线照度计以及探头的校准服务,从寄出日期开始计算校准周期在一个月左右,一般照度计及探头1年左右需要校准一次。

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