设备简介：
Muetec设备是一款广泛适用于硅基半导体以及化合物半导体行业的多功能量测和检测设备，Muetec设备搭配多个波段的光源，从DUV到UV、可视光、红外波段，用以实现不同量测的需求。自动对焦功能模块及机械手臂和片盒，可以实现对多尺寸样片（ 6”和8”）的全自动关键线条宽度和套刻检测、缺陷检测, 以及薄膜厚度量测，其高重复性和高稳定性的特性使其适用于大规模生产型客户。
Muetec设备是一款广泛适用于硅基半导体以及化合物半导体行业的多功能量测和检测设备，Muetec设备搭配多个波段的光源，从DUV到UV、可视光、红外波段，用以实现不同量测的需求。自动对焦功能模块及机械手臂和片盒，可以实现对多尺寸样片（ 6”和8”）的全自动关键线条宽度和套刻检测、缺陷检测, 以及薄膜厚度量测，其高重复性和高稳定性的特性使其适用于大规模生产型客户。
◆Critical Dimension关键线宽量测；
◆套刻精度量测；
◆Pattern 缺陷检测；
◆薄膜厚度量测；
◆快速Marco缺陷检测。
◆ 化合物半导体：GaAs，InP, SiC，GaN
◆ 硅基器件前段：功率器件，MEMS，射频MEMS
◆ 硅基器件后段：8”和12”的封装及bumping线
◆ LED、光通讯、石英材料类
◆ 掩膜版的CD量测和缺陷检测
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